加工定制:否 | 品牌:INFICON | 型号:SKY CDG100D |
测量范围:100...100000Pa | 外形尺寸:145.7*82*82mm | 重量:0.875kg |
产品适用范围:SKY电容膜片真空计 | 响应时间:30毫秒 | 保护等级:IP 40 |
电源电压:14...30V |
SKY电容膜片真空计INFICON CDG100D :
INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴
INFICON SKY CDG100D 压力计是实现***总压测量与控制的理想之选。 CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有***的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 100 毫托至 1000 托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 品质***,***成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
益处:
拥有成本***,预热速度快 50%,节能,低功耗
易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设***
轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务,***的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
***的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准
合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用:
用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
新闻:
配备 EtherCAT 数字接口现在可用!