| 加工定制：否 | 品牌：英福康 | 型号：VSA100A、VSA200、VSD200、VSC150A |
| 测量范围：0.5...2000Pa | 外形尺寸：72*48.5*48.5、117.5*34*30mm | 重量：0.315/0.14/1.3kg |
| 产品适用范围：安全关断真空系统、压强联锁 |
1、VSA100A 环境压差
INFICON 真空开关 VSA100A 用作真空系统的安全开关。 例 如，对真空系统进行排气的吹扫气 低于大气压 6 毫巴时，自动干预气体供应。 与大气压的压差达到 6 毫巴时，开关断开，而当压力上升到 低于大气压 3 毫巴时，开关复位，弹性的膜片驱动一个转换触片轮流作用， 可以用来直接开关任何外部设备。
益处
性能可靠且价格适中的真空开关
使用寿命长
坚固耐用的设计
易于集成
IP 44 保护
典型应用
加载互锁真空室的控制
安全关闭真空系统
2、VSA200 绝压开关、VSD200 差动开关
INFICON 真空开关专为准确可靠地进行压力检测而设计。 这些坚固耐用的电子开关可用于各种真空应用，包括压力互锁。 开关有两种型号：绝压开关（参考真空）和压差开关（参考环境）。
益处
全不锈钢防腐蚀设计
设计稳健，符合洁净室标准
出厂预设或现场可调设***，易于安装
功能
IP 44 保护
无源触点继电器输出
高精度温度补偿传感器
压力范围 1×10-9 毫巴 … 2 巴
典型应用
适合各种真空应用的大气压检测
压力互锁（电源、气源、泵、阀门、驱动装置等）
真空至高真空
3、VSC150A 绝压开关，被动式
INFICON 真空开关 VSC150 是一种绝压开关，带有 电子开关触点，可从 0.5 调至 2000 毫巴。 这种机械设计允许 短时间内超载至 3000 毫巴，且不会对开关的转换精度产生 ± 0.1 毫巴的影响。 INFICON 可根据客户的具体要求调整压力开关。
益处
高开关精度（± 0.1 毫巴）
长期稳定的运行特点
坚固的防腐蚀设计
功能
基准室中的开关触点（常闭）保护 免受过程介质的影响
采用开关放大器，提高开关能力
提供进行压差测量的转接器
典型应用
压力开关或压差开关用于控制阀门、泵和电源
加载互锁真空室
过程腔室
