| 加工定制：否 | 品牌：Inficon/英福康 | 型号：AllCeramic CDG025-C |
| 测量范围：-13332.2...+13332.2Pa | 外形尺寸：93*57*55mm | 重量：0.25kg |
| 产品适用范围：氧化、刻蚀 | 精度：0.2% | 分辨率：0.0015% F.S |
| 响应时间：30毫秒 |
SKY AllCeramic CDG025-C SKY电容膜片真空计:
SKY AllCeramic CDG025-C全部暴露于真空的表面是由超纯氧化铝陶瓷构成的，取代常规CDG中的不锈钢管材料。本产品适用于必须避免金属污染的应用中。
优势：
1、无金属污染
2、微小的零点漂移
3、真正的抗腐蚀--长的传感器寿命减少停机时间从而降低拥有成本
4、长期运行中***的精度和再现性
5、更好的长期温度稳定性
6、对频繁接触大气不敏感，可省略隔离阀（取决于操作模式）
7、由于增强的粒子防护层（Suprashield),对微粒和过程副产物不敏感
应用：
1、刻蚀，CVD和PVD过程
2、用注入或扩散过程渗杂硅
3、氧化
4、创建阻断层（Ti，TiN，Ta和TaN，作为硅与铝或铜之间的保护层
