| 加工定制：否 | 品牌：Inficon/英福康 | 型号： AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS |
| 测量范围：133.322...133322Pa | 外形尺寸：149.5*78.5*78.5mm | 重量：0.46/0.49kg |
| 产品适用范围：其他无金属的真空测量要求 | 精度：0.5% | 分辨率：0.005% |
| 响应时间：50毫秒 |
SKY AllCeramic CDG160A-C/CDG160A-CS：
INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C是完全无金属的160°C温度控制的电容膜片真空计用于高要求的应用，如氧化，扩散和LPCVD。暴露于真空的全部表面如管道，等离子屏蔽和防污染屏蔽均由抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷构成，完全免除了对真空计的金属污染。
INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C集成了验证的INFICON CDG 160A 真空计系列的传感器技术，在LPCVD和其他严酷的半导体制造应用中达到可靠和可再现的性能。
优势：
1、无金属的超纯陶瓷结构防止金属污染物
2、温度控制于160°C防止过程产物和副产物的凝聚
3、小型设计节省可贵的空间和简化工具集成
4、高环境温度兼容性
5、增强的微粒保护室具有附加的保护层减少真空计被污染的可能性
6、独特的陶瓷传感器结构提供再现性和***的测量，具有极好的长期稳定性
7、可选的设点和状态指示提供附加的控制和安全功能
应用：
1、氧化，扩散和LPCVD过程
2、其他无金属的真空测量要求
